三种途径的物理过程描述如下：高能量的激光束与靶材相：用，光束能量部分转换为足够使靶材熔化和蒸发的热能（光热烧蚀）；蒸发的部分电离形成等寓子体；吸收激光的等离子体膨胀、冷却、凝固成簇，这一过；断进行下去，直到激光停止作用。人们据此提出了一个简化的一维激光烧蚀物型，运用激光焊接机这个模型可以预测蒸发前沿的温度和蒸气通量以及颗粒形成和烧蚀率：由于一方面该模型没有考虑从靶材表面发生的热传导、对流和辐射损失，另一方面缺少高温时的热物理和光学性能数据，从而使得用模型预测的结果比试验值偏高，尽管变化趋势是一致的。
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