微电子工业中经常使用掩模，激光不但可制作原图，还可修复掩模。如果它的硬表面有0.1um厚的铬膜残留缺陷，则只需以1J／cm2能量密度的Nd：YAC脉冲激光，控制脉冲宽度在50ns以内，通过聚焦系统获得2～2.5um刻线宽度，就可方便地除去缺陷，修复掩模。
由于激光光斑很小，光束定位精度高，用它修补高密度的MOS存贮器是理想手段。在制备复杂的存贮器时，局部缺陷使牲个存贮器成为废品，严重地影响提高生产率。如果用激光束切割去其失效部分，再利用备件代替该元件，就可克服.MOS存贮器成品率低的问题。
随着激光技术发展和各种切割领域内新问题的出现，激光精密切割必将不断获得新的应用。
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